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热搜关键词实验室真空设备 真空镀膜机 真空泵维修 氦质谱检漏仪 真空计 流量计
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定制生产实验室微型溅镀机靶头 5&6英寸溅射靶
    发布时间: 2019-03-12 21:13    

定制生产实验室溅射机靶头,6英寸、5英寸等规格靶头,优化设计并经多种机台测试,安装维护方便,散热能力好,成膜性能优于国外同类产品,速率高,非标定制产品。



高真空多靶溅射机参数说明
规 格 参 
极限真空 2.0x10-5  Pa
真空速率 700升/分钟
泵组 美国ANGILENT分子泵组,分子泵抽速可选80L/s、300L/s、500L/s ,可选其他规格
本底真空 〈5*10-6 Torr
基片尺寸 基片区域400mm 可旋转载物台,可加热基片300℃
靶源尺寸 2英寸或⌀60圆形磁控溅射靶源 可选其他
电源模块 2台500W直流溅射电源,2台600W射频电源,可选装
供气方式 2个100sccm气体质量流量计, 可选装
真空控制 德国INFICON BPG400复合真空计,可选装其他
操作模式 触屏全自动+手动操作模式
电源 380V/220V AC 50/60HZ
冷却方式 水冷 
设备功率 〈5KW
 设备重量  234KG(根据选择设备单元计)
备注:以上参数可根据客户需求调整,设备定做周期为8-12周。