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热搜关键词实验室真空设备 真空镀膜机 真空泵维修 氦质谱检漏仪 真空计 流量计
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日本光驰真空镀膜机维修 真空镀膜机升级翻新
    发布时间: 2019-03-12 21:13    

专业日本光驰、昭和、新科隆真空镀膜机维修,为客户提供磁控溅射,蒸发镀,气相沉积等镀膜工艺升级改造.



真空室尺寸:Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵